Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии:...
Рассмотрены основные физико-химические свойства материалов, используемых в радиоэлектронной аппаратуре. Для основных четырех групп материалов – полупроводников, металлов, диэлектриков и магнетиков...
В учебном пособии рассмотрены вопросы терминологии в области нанотехнологий, проанализирована взаимосвязь размерных эффектов и области применимости нанотехнологий, описаны основные группы...
Приведено описание лабораторных работ по процессам получения и изучению свойств основных классов наноструктурных материалов: нанопорошков; объемных наноматериалов, полученных методами интенсивной...
Цель курса лекций – ознакомить студентов с методами моделирования процессов выращивания наноструктур. Даны основные представления о методе Монте-Карло, основанном на выборе случайных процессов....
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
В учебном пособии рассмотрены физические основы методов и аппаратура для проведения рентгеноструктурного, электроно- и нейтронографического анализов, просвечивающей электронной микроскопии, растровой...