Рассмотрены физические процессы, происходящие в вакууме и полупроводниковых структурах при работе электровакуумных и полупроводниковых приборов. Описаны основные физические явления при вакуумировании...
Методические материалы по дисциплине «Физико-механические компоненты наносистем» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий,...
Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных...