Дефекты кристаллической структуры полупроводниковых материалов

В настоящем учебном пособии рассмотрены основные типы дефектов кристаллической решётки и их влияние на свойства полупроводникового кристалла. Полупроводниковый кристалл – основа микроэлектроники. Создание полупроводниковых материалов со строго заданными параметрами электрических и оптических свойств – сложнейший технологический процесс. Малейшие отклонения от заданного состава полупроводникового материала, как широко известно, приводят к неконтролируемому изменению его свойств. Менее широко известно, что практически такую же роль играет степень дефектности полупроводникового кристалла, т. е. количество и качество отклонений от идеальной кристаллической структуры, появляющ…