Книга Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии - скачать бесплатно в pdf, Лев Александрович Сейдман
bannerbanner
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Добавить В библиотеку
Оценить:

Рейтинг: 3

Поделиться
Купить и скачать

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химиче…
Далее
На сайте электронной библиотеки Litportal вы можете скачать книгу Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии в формате fb2.zip, txt, txt.zip, rtf.zip, a4.pdf, a6.pdf, mobi.prc, epub, ios.epub, fb3. У нас можно прочитать отзывы и рецензии о этом произведении.

Скачать книгу в форматах

Читать онлайн

Спасибо за оценку! Будем признательны, если Вы оставите комментарий о данном произведении.
Помогите, пожалуйста, другим читателям нашего сайта, оставьте отзыв или рецензию о прочитанной книге.

Похожие авторы