Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Жанр:
Год написания книги: 2016
Тэги:
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
На сайте электронной библиотеки Litportal вы можете скачать книгу Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение в формате fb2.zip, txt, txt.zip, rtf.zip, a4.pdf, a6.pdf, mobi.prc, epub, ios.epub, fb3. У нас можно прочитать отзывы и рецензии о этом произведении.
